当超纯水设备运行环境适于微生物生长，或者进水中存在较多的细菌和藻类的时候，edi模块和edi超纯水系统也会发生微生物污堵。这时，需要进行edi清洗。
edi微生物污堵结垢要分别进行处理，这样才能使edi清洗达到更好的效果。
一、严重的微生物污堵清洗
1、记录清洗前所有数据；
2、分离edi超纯水设备与其他反渗透纯水设备的连接管路；
3、连接清洗装置，使清洗泵通过进水管路进入edi模块的淡水室、浓水室，再回到清洗水箱，开启所有的进出水阀门；
4、在清洗水箱配置2%浓度的盐清洗液；
6、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离产水、浓水排水阀至地沟；
8、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
9、在清洗水箱配置0.04%浓度的过氧乙酸 0.2%的过氧化氢清洗液；
11、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离浓水排水阀至地沟；
13、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
14、在清洗水箱配置2%浓度的盐清洗液；
16、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离产水、浓水排水阀至地沟；
18、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
19、调节各个阀门，恢复原始各设计流量数据；
20、停机，恢复edi各个管路与其他超纯水系统的连接；
22、转入正常运行，并作好初次运行的数据记录。
二、严重的微生物污堵和结垢清洗
1、记录清洗前所有数据；
2、分离edi超纯水设备与其他反渗透纯水设备的连接管路；
3、连接清洗装置，使清洗泵通过进水管路进入edi模块的淡水室、浓水室，再回到清洗水箱，开启所有的进出水阀门；
4、在清洗水箱配置2%浓度的盐清洗液；
6、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离产水、浓水排水阀至地沟；
8、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
9、在清洗水箱配置2%浓度的盐清洗液；
11、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离浓水排水阀至地沟；
13、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
14、在清洗水箱配置0.04%浓度的过氧乙酸 0.2%的过氧化氢清洗液；
16、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离产水、浓水排水阀至地沟；
18、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
19、在清洗水箱配置2%浓度的盐清洗液；
21、停止清洗泵，排空清洗水箱清洗废液，分离产水、浓水排水阀至地沟；
23、分别检测产水、浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近；
24、调节各个阀门，恢复原始各设计流量数据；
25、停机，恢复edi各个管路与其他超纯水系统的连接；
27、转入正常运行，并作好初次运行的数据记录。